簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "自動化及控制研究所".dept (精準) and ckeyword.raw="化學機械拋光"


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    以準穩態分子靜力學模擬CMP粒子的切削行為
    • /95/ 碩士
    • 研究生: 黃銘龍 指導教授: 林榮慶
    • 摘要 本文旨在建立結合分子靜力學與變形理論,而提出分子靜力學是以莫氏力建立模擬系統,模擬CMP粒子的加工行為。本文對奈米加工參數設定方面,是利用六方最密排列的鑽石研磨粒切削完美面心立方體銅,應用二…
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